Brief of Molecular Beam Epitaxy (MBE)
Technologie Molecular Beam Epitaxy (MBE) byla vyvinuta v 50. letech 20. století pro přípravu polovodičových tenkovrstvých materiálů pomocí technologie vakuového napařování. S rozvojem technologie ultravysokého vakua se aplikace technologie rozšířila i do oblasti vědy o polovodičích.
Motivací výzkumu polovodičových materiálů je poptávka po nových zařízeních, která mohou zlepšit výkon systému. Nová materiálová technologie zase může produkovat nové vybavení a nové technologie. Epitaxe molekulárního svazku (MBE) je vysoce vakuová technologie pro růst epitaxní vrstvy (obvykle polovodiče). Využívá tepelný paprsek zdrojových atomů nebo molekul dopadajících na monokrystalický substrát. Charakteristiky procesu s ultravysokým vakuem umožňují pokovování in-situ a růst izolačních materiálů na nově narostlých polovodičových površích, což vede k rozhraním bez znečištění.
Technologie MBE
Epitaxe molekulárním paprskem byla provedena ve vysokém vakuu nebo ultra vysokém vakuu (1 x 10-8Pa) prostředí. Nejdůležitějším aspektem epitaxe molekulárního paprsku je její nízká rychlost ukládání, která obvykle umožňuje epitaxnímu růstu filmu rychlostí menší než 3000 nm za hodinu. Taková nízká rychlost nanášení vyžaduje dostatečně vysoké vakuum, aby se dosáhlo stejné úrovně čistoty jako u jiných metod nanášení.
Pro splnění výše popsaného ultravysokého vakua má zařízení MBE (Knudsenova buňka) chladicí vrstvu a prostředí ultravysokého vakua v růstové komoře musí být udržováno pomocí cirkulačního systému kapalného dusíku. Kapalný dusík ochladí vnitřní teplotu zařízení na 77 Kelvinů (−196 °C). Nízkoteplotní prostředí může dále snížit obsah nečistot ve vakuu a poskytnout lepší podmínky pro nanášení tenkých vrstev. Proto je pro zařízení MBE vyžadován vyhrazený chladicí cirkulační systém kapalného dusíku, který zajistí nepřetržitou a stálou dodávku kapalného dusíku -196 °C.
Cirkulační systém chlazení kapalným dusíkem
Vakuový cirkulační systém chlazení kapalným dusíkem zahrnuje především
● kryogenní nádrž
● hlavní a vedlejší trubka s vakuovým pláštěm / hadice s vakuovým pláštěm
● Speciální oddělovač fází MBE a výfukové potrubí s vakuovým pláštěm
● různé ventily s vakuovým pláštěm
● bariéra plyn-kapalina
● vakuově opláštěný filtr
● systém dynamického vakuového čerpadla
● Systém předchlazení a proplachování
Společnost HL Cryogenic Equipment Company zaznamenala poptávku po chladicím systému MBE s kapalným dusíkem, organizovala technickou páteř pro úspěšný vývoj speciálního chladicího systému MBE s kapalným dusíkem pro technologii MBE a kompletní sadu vakuové izolaceedpotrubní systém, který se používá v mnoha podnicích, univerzitách a výzkumných ústavech.
HL Kryogenní zařízení
HL Cryogenic Equipment, která byla založena v roce 1992, je značka přidružená k Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company v Číně. Společnost HL Cryogenic Equipment se zavázala navrhovat a vyrábět vysokovakuově izolovaný kryogenní potrubní systém a související podpůrné vybavení.
Pro více informací navštivte prosím oficiální stránkywww.hlcryo.comnebo e-mailem nainfo@cdholy.com.
Čas odeslání: květen-06-2021
