Stručně řečeno epitaxy molekulárního paprsku (MBE)
Technologie epitaxy molekulárního paprsku (MBE) byla vyvinuta v 50. letech 20. století, aby se připravila tenké filmové materiály polovodičové pomocí technologie vakuové odpařování. S rozvojem ultra vysoké vakuové technologie byla aplikace technologie rozšířena do oblasti polovodičové vědy.
Motivací výzkumu polovodičových materiálů je poptávka po nových zařízeních, která může zlepšit výkon systému. Nová technologie materiálu může zase produkovat nová vybavení a nové technologie. Epitaxy molekulárního paprsku (MBE) je vysoce vakuová technologie pro růst epitaxiální vrstvy (obvykle polovodičové). Používá tepelný paprsek atomů zdroje nebo molekul ovlivňujících substrát s jedním krystalem. Ultra vysoké vakuové charakteristiky procesu umožňují metalizaci a růst izolačních materiálů na nově pěstovaných polovodičových površích, což vede k rozhraní bez znečištění.
Technologie MBE
Epitaxy molekulárního paprsku byla provedena ve vysokém vakuu nebo ultra vysokém vakuu (1 x 10-8PA) prostředí. Nejdůležitějším aspektem epitaxy molekulárního paprsku je jeho nízká rychlost depozice, která obvykle umožňuje filmu růst epitaxiální rychlosti menší než 3000 nm za hodinu. Taková nízká míra depozice vyžaduje dostatečně vysoko vakuum, aby se dosáhlo stejné úrovně čistoty jako jiné metody depozice.
Pro splnění výše popsaného ultra vysokého vakua má zařízení MBE （Knudsen Cell） chladicí vrstvu a ultra vysoké vakuové prostředí růstové komory musí být udržováno pomocí kapalného cirkulačního systému dusíku. Kapalný dusík ochlazuje vnitřní teplotu zařízení na 77 Kelvin (-196 ° C). Nízkoteplotní prostředí může dále snížit obsah nečistot ve vakuu a poskytovat lepší podmínky pro ukládání tenkých filmů. Proto je pro zařízení MBE vyžadován specializovaný systém cirkulace kapaliny dusíku, aby zařízení MBE poskytovalo nepřetržitý a stabilní dodávku kapalného dusíku -196 ° C.
Systém cirkulace chlazení kapaliny
Vakuový cirkulační systém chlazení dusíku na kapalinu zahrnuje hlavně,
● Kryogenní nádrž
● Hlavní a větev vakuová bundová / vakuová hadice
● Oddělovač speciální fáze MBE a vakuové odpadní potrubí
● Různé vakuové ventily
● Bariéra plynu-kapalina
● Vakuový filtr
● Dynamický systém vakuového čerpadla
● Předchlazení a vyčištění systému opětovného zahřívání
Společnost HL Cryogennic Equipment Company si všimla poptávky po mbe kapalném chladicím systému dusíku, organizovaná technická páteř pro úspěšný vývoj speciálního systému kapalného dusíku MBE pro technologii MBE a kompletní sadu vakuového inzulátuedpotrubní systém, který se používá v mnoha podnicích, univerzitách a výzkumných ústavech.
HL kryogenní zařízení
HL kryogenní vybavení, které bylo založeno v roce 1992, je značkou přidruženou k společnosti Chengdu Holy Cryogen Equipment Company v Číně. HL kryogenní zařízení se zavázala k návrhu a výrobě vysoce vakuového izolovaného kryogenního potrubního systému a souvisejícího podpůrného zařízení.
Další informace naleznete na oficiálních webových stránkáchwww.hlcryo.comnebo e -mailem nainfo@cdholy.com.
Čas příspěvku: květen-06-2021
