Systémy chlazení kapalným dusíkem se široce používají v polovodičovém a čipovém průmyslu, včetně procesu,
- Technologie molekulární paprskové epitaxe (MBE)
- Test čipu po zabalení do COB balíčku
Související produkty
Řada vakuově izolovaných trubek
Řada vakuově izolovaných flexibilních hadic
Dynamický systém vakuového čerpadla
Řada vakuově izolovaných fázových separátorů
Řada vakuově izolovaných ventilů
Zařízení pro podporu potrubních systémů
MOLEKULÁRNÍ EPITAXE SVAZKEM
Technologie molekulární svazkové epitaxe (MBE) byla vyvinuta v 50. letech 20. století pro přípravu tenkovrstvých polovodičových materiálů pomocí technologie vakuového napařování. S rozvojem technologie ultravysokého vakua se aplikace této technologie rozšířila i do oblasti polovodičové vědy.
Společnost HL si všimla poptávky po chladicím systému kapalným dusíkem MBE a zorganizovala technickou základnu pro úspěšný vývoj speciálního chladicího systému kapalným dusíkem MBE pro technologii MBE a kompletní sady vakuově izolovaných potrubních systémů, které se používají v mnoha podnicích, na univerzitách a ve výzkumných ústavech.
Mezi běžné problémy polovodičového a čipového průmyslu patří:
- Tlak kapalného dusíku v terminálovém (MBE) zařízení. Zabraňte poškození terminálového (MBE) zařízení přetížením tlakem.
- Více ovládacích prvků pro vstup a výstup kryogenních kapalin
- Teplota kapalného dusíku v koncovém zařízení
- Přiměřené množství emisí kryogenních plynů
- (Automatické) přepínání hlavních a odbočných vedení
- Nastavení (redukce) tlaku a stabilita VIP
- Čištění nádrže od případných nečistot a zbytků ledu
- Doba plnění terminálového kapalného zařízení
- Předchlazení potrubí
- Odolnost proti kapalinám ve VIP systému
- Kontrola úniku kapalného dusíku během přerušovaného provozu systému
Vakuově izolované potrubí (VIP) od společnosti HL je standardně vyrobeno podle normy ASME B31.3 pro tlakové potrubí. Zkušenosti inženýrů a schopnost kontroly kvality zajišťují účinnost a nákladovou efektivitu zařízení zákazníka.
ŘEŠENÍ
Společnost HL Cryogenic Equipment dodává zákazníkům vakuově izolované potrubní systémy, které splňují požadavky a podmínky polovodičového a čipového průmyslu:
1. Systém managementu kvality: ASME B31.3 Předpis pro tlakové potrubí.
2. Speciální fázový separátor s vícenásobným vstupem a výstupem kryogenní kapaliny s automatickou řídicí funkcí splňuje požadavky na emise plynů, recyklovaný kapalný dusík a teplotu kapalného dusíku.
3. Vhodný a včasný návrh odsávání zajišťuje, že koncové zařízení vždy pracuje v rámci navržené hodnoty tlaku.
4. Plynokapalinová bariéra je umístěna ve svislém potrubí VI na konci potrubí VI. Plynokapalinová bariéra využívá princip plynového těsnění k blokování tepla z konce potrubí VI do potrubí VI a účinně snižuje ztráty kapalného dusíku během přerušovaného a diskontinuálního provozu systému.
5. Potrubí VI ovládané vakuově izolovanými ventily řady VIV: Včetně vakuově izolovaných (pneumatických) uzavíracích ventilů, vakuově izolovaných zpětných ventilů, vakuově izolovaných regulačních ventilů atd. Různé typy ventilů VIV lze modulárně kombinovat pro řízení VIP dle potřeby. VIV je integrován s prefabrikovaným VIP u výrobce, bez nutnosti izolační úpravy na místě. Těsnicí jednotku VIV lze snadno vyměnit. (HL akceptuje značku kryogenních ventilů určenou zákazníkem a poté vyrábí vakuově izolované ventily HL. Některé značky a modely ventilů nemusí být možné vyrobit jako vakuově izolované ventily.)
6. Čistota, pokud existují další požadavky na čistotu povrchu vnitřní trubky. Doporučuje se, aby si zákazníci jako vnitřní trubky VIP zvolili trubky z nerezové oceli BA nebo EP, aby se dále snížilo rozlití nerezové oceli.
7. Vakuově izolovaný filtr: Vyčistěte nádrž od případných nečistot a zbytků ledu.
8. Po několikadenní nebo delší odstávce či údržbě je velmi důležité předchladit potrubí VI a koncová zařízení před vstupem kryogenní kapaliny, aby se zabránilo tvorbě ledové strusky po přímém vstupu kryogenní kapaliny do potrubí VI a koncových zařízení. Funkce předchlazení by měla být zohledněna při návrhu. Poskytuje lepší ochranu koncových zařízení a podpůrného vybavení potrubí VI, jako jsou ventily.
9. Vhodné pro dynamické i statické vakuově izolované (flexibilní) potrubní systémy.
10. Dynamický vakuově izolovaný (flexibilní) potrubní systém: Skládá se z flexibilních hadic VI a/nebo trubek VI, propojovacích hadic, systému vakuově izolovaných ventilů, fázových oddělovačů a systému dynamických vakuových čerpadel (včetně vakuových čerpadel, solenoidových ventilů a vakuometrů atd.). Délku jedné flexibilní hadice VI lze přizpůsobit požadavkům uživatele.
11. Různé typy připojení: Lze zvolit typ vakuového bajonetového připojení (VBC) a svařované připojení. Typ VBC nevyžaduje izolaci na místě.
