Pouzdra a řešení pro polovodiče a čipy

/řešení pouzder-polovodičů a-čipů/
/řešení pouzder-polovodičů a-čipů/
/řešení pouzder-polovodičů a-čipů/
/řešení pouzder-polovodičů a-čipů/

Chladicí systémy s kapalným dusíkem jsou široce používány v průmyslu polovodičů a čipů, včetně procesu,

  • Technologie molekulární epitaxe (MBE)
  • Test čipu po COB balíčku

Související produkty

EPITAXIE MOLEKULÁRNÍHO PAPRSKU

Technologie Molecular Beam Epitaxy (MBE) byla vyvinuta v 50. letech 20. století pro přípravu polovodičových tenkovrstvých materiálů pomocí technologie vakuového napařování.S rozvojem technologie ultravysokého vakua se aplikace technologie rozšířila i do oblasti vědy o polovodičích.

HL si všimla poptávky po chladicím systému MBE s kapalným dusíkem, zorganizovala technickou páteř pro úspěšný vývoj speciálního chladicího systému MBE s kapalným dusíkem pro technologii MBE a kompletní sadu vakuově izolovaného potrubního systému, který se používá v mnoha podnicích, univerzitách a výzkumných ústavech. .

Mezi běžné problémy průmyslu polovodičů a čipů patří,

  • Tlak kapalného dusíku do koncového (MBE) zařízení.Zabraňte tlakovému přetížení z poškození koncového zařízení (MBE).
  • Vícenásobné ovládání vstupu a výstupu kryogenní kapaliny
  • Teplota kapalného dusíku v koncovém zařízení
  • Přiměřené množství emisí kryogenních plynů
  • (Automatické) přepínání hlavních a vedlejších linek
  • Úprava tlaku (snížení) a stabilita VIP
  • Odstranění případných nečistot a zbytků ledu z nádrže
  • Doba plnění koncového kapalného zařízení
  • Předchlazení potrubí
  • Odolnost vůči tekutinám ve VIP systému
  • Kontrola ztráty kapalného dusíku během nepřetržitého servisu systému

Vakuově izolované potrubí HL (VIP) je standardně vyrobeno podle normy ASME B31.3 Pressure Piping.Inženýrské zkušenosti a schopnost kontroly kvality zajistit efektivitu a hospodárnost závodu zákazníka.

ŘEŠENÍ

HL Cryogenic Equipment poskytuje zákazníkům vakuově izolovaný potrubní systém, který splňuje požadavky a podmínky průmyslu polovodičů a čipů:

1. Systém řízení kvality: ASME B31.3 Kód tlakového potrubí.

2.A Speciální separátor fází s vícenásobným vstupem a výstupem kryogenní kapaliny s funkcí automatického řízení splňuje požadavky na emise plynů, recyklovaný kapalný dusík a teplotu kapalného dusíku.

3. Odpovídající a včasná konstrukce výfuku zajišťuje, že koncová zařízení vždy pracují v rámci projektované hodnoty tlaku.

4. Bariéra plyn-kapalina je umístěna ve vertikálním VI potrubí na konci VI potrubí.Gas-liquid Barrier využívá princip plynového těsnění k blokování tepla z konce VI potrubí do VI potrubí a účinně snižuje ztráty kapalného dusíku během přerušovaného a přerušovaného provozu systému.

5.VI Potrubí ovládané vakuově izolovaným ventilem (VIV) série: Včetně vakuově izolovaného (pneumatického) uzavíracího ventilu, vakuově izolovaného zpětného ventilu, vakuově izolovaného regulačního ventilu atd. Různé typy VIV lze modulárně kombinovat pro ovládání VIP jako Požadované.VIV je integrován s VIP prefabrikací u výrobce, bez izolačního ošetření na místě.Těsnicí jednotku VIV lze snadno vyměnit.(HL přijímá značku kryogenních ventilů určenou zákazníky a poté vyrábí vakuově izolované ventily od HL. Některé značky a modely ventilů nemusí být možné vyrobit na vakuově izolované ventily.)

6. Čistota, pokud existují další požadavky na čistotu povrchu vnitřní trubky.Doporučuje se, aby zákazníci zvolili trubky z nerezové oceli BA nebo EP jako vnitřní trubky VIP, aby se dále snížilo rozlití nerezové oceli.

7. Vakuově izolovaný filtr: Odstraňte případné nečistoty a zbytky ledu z nádrže.

8. Po několika dnech nebo delší odstávce nebo údržbě je velmi nutné před vstupem kryogenní kapaliny předchladit potrubí VI a koncové zařízení, aby se zabránilo vzniku ledové strusky poté, co kryogenní kapalina vstoupí přímo do potrubí VI a koncového zařízení.Při návrhu by měla být zohledněna funkce předchlazení.Poskytuje lepší ochranu koncovým zařízením a podpůrným zařízením VI potrubí, jako jsou ventily.

9. Oblek pro dynamický i statický vakuově izolovaný (flexibilní) potrubní systém.

10. Dynamický vakuově izolovaný (flexibilní) potrubní systém: Skládá se z VI flexibilních hadic a/nebo VI trubek, propojovacích hadic, vakuově izolovaného ventilového systému, fázových separátorů a systému dynamických vakuových čerpadel (včetně vakuových čerpadel, solenoidových ventilů a vakuometrů atd. ).Délku jedné flexibilní hadice VI lze upravit podle požadavků uživatele.

11. Různé typy připojení: Lze vybrat typ vakuového bajonetového připojení (VBC) a svařované připojení.Typ VBC nevyžaduje izolaci na místě.