Chladicí systémy s kapalným dusíkem jsou široce používány v průmyslu polovodičů a čipů, včetně procesu,
- Technologie molekulární epitaxe (MBE)
- Test čipu po COB balíčku
Související produkty
Řada vakuově izolovaných potrubí
Řada flexibilních hadic s vakuovou izolací
Systém dynamického vakuového čerpadla
Řada vakuově izolovaných fázových separátorů
Řada vakuově izolovaných ventilů
Podpůrné vybavení potrubního systému
EPITAXIE MOLEKULÁRNÍHO PAPRSKU
Technologie Molecular Beam Epitaxy (MBE) byla vyvinuta v 50. letech 20. století pro přípravu polovodičových tenkovrstvých materiálů pomocí technologie vakuového napařování. S rozvojem technologie ultravysokého vakua se aplikace technologie rozšířila i do oblasti vědy o polovodičích.
HL si všimla poptávky po chladicím systému MBE s kapalným dusíkem, zorganizovala technickou páteř pro úspěšný vývoj speciálního chladicího systému MBE s kapalným dusíkem pro technologii MBE a kompletní sadu vakuově izolovaného potrubního systému, který se používá v mnoha podnicích, univerzitách a výzkumných ústavech. .
Mezi běžné problémy průmyslu polovodičů a čipů patří,
- Tlak kapalného dusíku do koncového (MBE) zařízení. Zabraňte tlakovému přetížení z poškození koncového zařízení (MBE).
- Vícenásobné ovládání vstupu a výstupu kryogenní kapaliny
- Teplota kapalného dusíku v koncovém zařízení
- Přiměřené množství emisí kryogenních plynů
- (Automatické) přepínání hlavních a vedlejších linek
- Úprava tlaku (snížení) a stabilita VIP
- Odstranění případných nečistot a zbytků ledu z nádrže
- Doba plnění koncového kapalného zařízení
- Předchlazení potrubí
- Odolnost vůči tekutinám ve VIP systému
- Kontrola ztráty kapalného dusíku během nepřetržité údržby systému
Vakuově izolované potrubí (VIP) společnosti HL je standardně vyrobeno podle normy ASME B31.3 Pressure Piping. Inženýrské zkušenosti a schopnost kontroly kvality zajistit efektivitu a hospodárnost závodu zákazníka.
ŘEŠENÍ
HL Cryogenic Equipment poskytuje zákazníkům vakuově izolovaný potrubní systém, který splňuje požadavky a podmínky průmyslu polovodičů a čipů:
1. Systém řízení kvality: ASME B31.3 Kód tlakového potrubí.
2.A Speciální separátor fází s vícenásobným vstupem a výstupem kryogenní kapaliny s funkcí automatického řízení splňuje požadavky na emise plynů, recyklovaný kapalný dusík a teplotu kapalného dusíku.
3. Odpovídající a včasná konstrukce výfuku zajišťuje, že koncová zařízení vždy pracují v rámci projektované hodnoty tlaku.
4. Bariéra plyn-kapalina je umístěna ve vertikálním VI potrubí na konci VI potrubí. Gas-liquid Barrier využívá princip plynového těsnění k blokování tepla z konce VI potrubí do VI potrubí a účinně snižuje ztráty kapalného dusíku během přerušovaného a přerušovaného provozu systému.
5.VI Potrubí ovládané vakuově izolovaným ventilem (VIV) série: Včetně vakuově izolovaného (pneumatického) uzavíracího ventilu, vakuově izolovaného zpětného ventilu, vakuově izolovaného regulačního ventilu atd. Různé typy VIV lze modulárně kombinovat pro ovládání VIP jako požadovaný. VIV je integrován s VIP prefabrikací u výrobce, bez izolačního ošetření na místě. Těsnicí jednotku VIV lze snadno vyměnit. (HL přijímá značku kryogenních ventilů určenou zákazníky a poté vyrábí vakuově izolované ventily od HL. Některé značky a modely ventilů nemusí být možné vyrobit na vakuově izolované ventily.)
6. Čistota, pokud existují další požadavky na čistotu povrchu vnitřní trubky. Doporučuje se, aby si zákazníci vybrali trubky z nerezové oceli BA nebo EP jako vnitřní trubky VIP, aby se dále snížilo rozlití nerezové oceli.
7. Vakuově izolovaný filtr: Odstraňte případné nečistoty a zbytky ledu z nádrže.
8. Po několika dnech nebo delší odstávce nebo údržbě je velmi nutné před vstupem kryogenní kapaliny předchladit potrubí VI a koncové zařízení, aby se zabránilo vzniku ledové strusky poté, co kryogenní kapalina vstoupí přímo do potrubí VI a koncového zařízení. Při návrhu by měla být zohledněna funkce předchlazení. Poskytuje lepší ochranu koncovým zařízením a podpůrným zařízením VI Piping, jako jsou ventily.
9. Oblek pro dynamický i statický vakuově izolovaný (flexibilní) potrubní systém.
10. Dynamický vakuově izolovaný (flexibilní) potrubní systém: Skládá se z VI flexibilních hadic a/nebo VI trubek, propojovacích hadic, vakuově izolovaného ventilového systému, fázových separátorů a systému dynamického vakuového čerpadla (včetně vakuových čerpadel, solenoidových ventilů a vakuometrů atd. ). Délku jedné flexibilní hadice VI lze upravit podle požadavků uživatele.
11. Různé typy připojení: Lze vybrat typ vakuového bajonetového připojení (VBC) a svařované připojení. Typ VBC nevyžaduje izolaci na místě.
