Systémy chlazení dusíku z kapalného dusíku se široce používají v polovodičovém a čipovém průmyslu, včetně procesu,
- Technologie epitaxy molekulárního paprsku (MBE)
- Test čipu po balíčku COB
Související produkty
Vakuová izolovaná série potrubí
Vakuová izolovaná série flexibilní hadice
Dynamický systém vakuového čerpadla
Vakuová izolovaná série separátoru fáze
Série vakuových izolovaných ventilů
Vybavení podpory systému potrubí
Epitaxy molekulárního paprsku
Technologie epitaxy molekulárního paprsku (MBE) byla vyvinuta v 50. letech 20. století, aby se připravila tenké filmové materiály polovodičové pomocí technologie vakuové odpařování. S rozvojem ultra vysoké vakuové technologie byla aplikace technologie rozšířena do oblasti polovodičové vědy.
HL si všimla poptávky po chladicím systému kapaliny MBE, organizovanou technickou páteří k úspěšnému vyvinutí speciálního systému kapalného dusíku MBE pro technologii MBE a kompletní sadu vakuového izolovaného potrubí, který byl použit v mnoha podnicích, univerzitách a výzkumných ústavech .
Mezi běžné problémy odvětví polovodičů a čipů patří,
- Tlak kapalného dusíku do zařízení terminálu (MBE). Zabraňte přetížení tlaku v poškození zařízení pro terminál (MBE).
- Několik kontroly kryogenního vstupu a vývodů
- Teplota kapalného dusíku do koncového zařízení
- Přiměřené množství kryogenních emisí plynu
- (Automatické) Přepínání hlavních a větev
- Nastavení tlaku (snížení) a stabilita VIP
- Čištění možných nečistot a zbytků ledu z nádrže
- Doba plnění kapalinového zařízení terminálu
- Precoolling potrubí
- Odolnost proti kapalině ve VIP systému
- Kontrolní ztráta tekutého dusíku během nespojité služby systému
Vakuové izolované potrubí HL (VIP) je vytvořeno jako standard tlakového potrubí ASME B31.3. Inženýrské zkušenosti a schopnost kontroly kvality zajistit efektivitu a efektivitu nákladové efektivity závodu zákazníka.
Řešení
HL kryogenní zařízení poskytuje zákazníkům vakuový izolovaný potrubní systém, který splňuje požadavky a podmínky odvětví polovodičů a čipů:
1. Systém správy kvality: ASME B31.3 Kód potrubí tlaku.
2.A Speciální fázová separátor s více kryogenními kapalnými vstupy a výstupy s automatickou kontrolní funkcí splňuje požadavek na emise plynu, recyklovaného kapalného dusíku a teploty kapalného dusíku.
3.Adequate a včasný design výfukových plynů zajišťuje, že koncové zařízení vždy funguje v rámci navržené tlakové hodnoty.
4. Bariéra plynu-kapalina je umístěna ve svislém potrubí VI na konci potrubí VI. Bariéra plynu-kapalina používá princip těsnění plynu k blokování tepla od konce potrubí VI do potrubí VI a účinně snižuje ztrátu kapalného dusíku během diskontinuální a přerušované služby systému.
5.Vicovské potrubí řízené řadou vakuového izolovaného ventilu (VIV): včetně vakuového izolovaného (pneumatického) uzavíracího ventilu, vakuového izolovaného kontrolního ventilu, vakuového izolovaného regulačního ventilu atd. Různé typy viv mohou být modulární kombinované pro ovládání VIP jako požadovaný. VIV je integrován s VIP prefabrikací u výrobce, bez izolované léčby na místě. Těsnicí jednotku VIV lze snadno vyměnit. (HL přijímá značku kryogenní chlopně určené zákazníky a poté vyrábí vakuové izolované ventily HL. Některé značky a modely ventilů nemusí být schopny vyrobit do vakuových izolovaných ventilů.)
6. Míra, pokud existují další požadavky na čistotu povrchu vnitřní trubice. Navrhuje se, aby si zákazníci vybrali BA nebo EP nerezové trubky jako VIP vnitřní potrubí, aby dále snižovali únik z nerezové oceli.
7. Izolovaný filtr VACUUM: Vyčistěte možné nečistoty a zbytky ledu z nádrže.
8. Po několika dnech nebo delších vypnutích nebo údržbě je velmi nutné předběžně před zadat kryogenní kapalinou, aby se zabránilo na ledové kapalině přímo do potrubí a terminálu. Funkce precoolling by měla být zvážena v designu. Poskytuje lepší ochranu pro koncové vybavení a VI potrubí, jako jsou ventily.
9.Seit pro dynamický i statický vakuový izolovaný (flexibilní) potrubní systém.
10. Dynamické vakuové izolované (flexibilní) potrubní systém: Skládá se z vi flexibilních hadic a/nebo vi, hadice propojky, vakuového izolovaného ventilového systému, separátorů fáze a dynamického vakuového čerpadla (včetně vakuových čerpadel, solenoidních ventilů a vakuových měřítek atd. ). Délka flexibilní hadice Single VI lze přizpůsobit podle požadavků uživatele.
11. Běžné typy připojení: Lze vybrat typ vakuového připojení bajonetu (VBC) a svařované připojení. Typ VBC nepotřebuje na místě izolované ošetření.
