Technologie
Epitaxy molekulárního paprsku, neboli MBE, je novou technikou pro pěstování vysoce kvalitních tenkých filmů krystalů na krystalových substrátech. V ultra vysokých podmínkách vakua je vytápěcí kamna vybavena všemi druhy požadovaných komponent a generuje páru, skrz otvory vytvořené po kolimovém atomovém nebo molekulárním paprsku, přímou injekcí k příslušné teplotě příslušné teploty jediného krystalického substrátu, který je ovládán molekulárním paprskem na stejný čas, může vytvořit molekul nebo atomy ve formě thry na tréninkovém skenování a formování na thružnou fólii na throužku na tréninkovém pódiu na thružnou plíži "Růst".
Pro normální provoz zařízení MBE je třeba nepřetržitě a stabilně transportovat do chladicí komory zařízení s vysokou čistotou, nízkým tlakem a ultra čistém kapalným dusíkem. Obecně se nádrž, která poskytuje kapalný dusík, má výstupní tlak mezi 0,3MPa a 0,8 MPA.liquid dusík při -196 ℃ se snadno odpařuje do dusíku během transportu potrubí. Jakmile se kapalný dusík s poměrem kapaliny plynné asi 1: 700 zapíná v potrubí, zabírá velké množství prostoru průtoku dusíku kapalného dusíku a na konci kapalného dusíkového potrubí sníží normální průtok. Kromě toho v zásobní nádrži na kapalinu dusík bude pravděpodobně existovat zbytky, které nebyly vyčištěny. V kapalném potrubí dusíku bude existence mokrého vzduchu také vést k tvorbě ledové strusky. Pokud jsou tyto nečistoty vypouštěny do zařízení, způsobí to nepředvídatelné poškození zařízení.
Kapalný dusík ve venkovní skladovací nádrži je proto transportován do zařízení MBE v semináři bez prachu s vysokou účinností, stabilitou a čistým a nízkým tlakem, žádný dusík, bez nečistot, 24 hodin nepřetržitého, takový systém kontroly přepravy je kvalifikovaným produktem.



Odpovídající zařízení MBE
Od roku 2005 optimalizuje a zlepšuje tento systém a zlepšuje HL kryogenní zařízení (HL Cryo) a spolupracuje s mezinárodními výrobci zařízení MBE. Výrobci zařízení MBE, včetně DCA, Reber, mají s naší společností spolupráce. Výrobci zařízení MBE, včetně DCA a Reber, spolupracovali ve velkém počtu projektů.
Riber SA je předním globálním poskytovatelem produktů molekulárních paprsků (MBE) a souvisejících služeb pro výzkum složitých polovodičů a průmyslových aplikací. Zařízení MBE Riber může na substrát ukládat velmi tenké vrstvy materiálu s velmi vysokými ovládacími prvky. Vakuové vybavení HL kryogenního zařízení (HL Cryo) je vybaveno Riber SA. Největším vybavením je Riber 6000 a nejmenší je kompaktní 21. Je v dobrém stavu a ji zákazníci rozpoznali.
DCA je přední světový oxid MBE. Od roku 1993 byl proveden systematický vývoj oxidačních technik, antioxidačního substrátového vytápění a antioxidační zdroje. Z tohoto důvodu si mnoho předních laboratoří vybralo technologii oxidu DCA. Po celém světě se používají kompozitní polovodičové systémy MBE. Systém cirkulace dusíku VJ kapaliny HL kryogenního zařízení (HL Cryo) a MBE vybavení více modelů DCA mají odpovídající zkušenosti v mnoha projektech, jako je model P600, R450, SGC800 atd.

Tabulka výkonu
Šanghajský institut technické fyziky, Čínská akademie věd |
Elektronická technologická společnost 11. Čína Corporation |
Ústav polovodičů, Čínská akademie věd |
Huawei |
Akademie Alibaba Damo |
PowerTech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Čas příspěvku: květen 26-2021