Projekt Chip MBE dokončený v minulých letech

Technologie

Molekulární epitaxe svazkem, neboli MBE, je nová technika pro růst vysoce kvalitních tenkých krystalových vrstev na krystalových substrátech. V podmínkách ultravysokého vakua se pomocí topné pece vybavené všemi potřebnými komponenty generuje pára. Ta se skrz otvory vytvořené po kolimaci atomového nebo molekulárního paprsku přímo vstřikuje do monokrystalového substrátu na odpovídající teplotu a zároveň se řídí skenování molekulárního paprsku na substrát. Molekulární paprsek tak může ve vrstvách krystalů vytvořit tenký film na substrátu a "růst".

Pro normální provoz zařízení MBE je nutné, aby byl do chladicí komory zařízení kontinuálně a stabilně dopravován vysoce čistý, nízkotlaký a ultračistý kapalný dusík. Obecně platí, že nádrž, která poskytuje kapalný dusík, má výstupní tlak mezi 0,3 MPa a 0,8 MPa. Kapalný dusík při -196 °C se během přepravy potrubím snadno odpařuje na dusík. Jakmile je kapalný dusík s poměrem plyn-kapalina přibližně 1:700 v potrubí zplyněn, zabírá velké množství prostoru pro proudění kapalného dusíku a snižuje normální průtok na konci potrubí kapalného dusíku. Kromě toho se v nádrži na kapalný dusík pravděpodobně nacházejí nečistoty, které nebyly vyčištěny. V potrubí kapalného dusíku vede existence vlhkého vzduchu také k tvorbě ledové strusky. Pokud se tyto nečistoty dostanou do zařízení, způsobí to nepředvídatelné poškození zařízení.

Proto je tekutý dusík ve venkovní skladovací nádrži přepravován do zařízení MBE v bezprašné dílně s vysokou účinností, stabilitou a čistotou. Díky nízkému tlaku, bez dusíku a nečistot, 24 hodin nepřetržitě, je takový systém řízení dopravy kvalifikovaným produktem.

tcm (4)
1000 000 Kč (1)
tcm (3)

Odpovídající vybavení MBE

Společnost HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimalizuje a vylepšuje tento systém od roku 2005 a spolupracuje s mezinárodními výrobci zařízení MBE. Výrobci zařízení MBE, včetně DCA a REBER, s naší společností udržují partnerské vztahy. Výrobci zařízení MBE, včetně DCA a REBER, spolupracovali na velkém počtu projektů.

Společnost Riber SA je předním světovým dodavatelem produktů pro molekulární epitaxi (MBE) a souvisejících služeb pro výzkum polovodičových sloučenin a průmyslové aplikace. Zařízení Riber MBE dokáže nanášet velmi tenké vrstvy materiálu na substrát s velmi vysokou kontrolou. Vakuové zařízení společnosti HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) je vybaveno zařízením Riber SA. Největším zařízením je Riber 6000 a nejmenším Compact 21. Je v dobrém stavu a bylo oceněno zákazníky.

DCA je přední světová technologie oxidové MBE. Od roku 1993 probíhá systematický vývoj oxidačních technik, ohřevu antioxidačních substrátů a zdrojů antioxidantů. Z tohoto důvodu si mnoho předních laboratoří zvolilo oxidovou technologii DCA. Kompozitní polovodičové systémy MBE se používají po celém světě. Systém cirkulace kapalného dusíku VJ od kryogenního zařízení HL (HL CRYO) a zařízení MBE různých modelů DCA mají odpovídající zkušenosti v mnoha projektech, jako například modely P600, R450, SGC800 atd.

tcm (2)

Tabulka výkonu

Šanghajský institut technické fyziky, Čínská akademie věd
11. institut Čínské korporace elektronických technologií
Ústav polovodičů, Čínská akademie věd
Huawei
Akademie Alibaba DAMO
Powertech Technology Inc.
Společnost Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Čas zveřejnění: 26. května 2021

Zanechte svou zprávu