Projekt Chip MBE dokončil v posledních letech

Technologie

Epitaxy molekulárního paprsku, neboli MBE, je novou technikou pro pěstování vysoce kvalitních tenkých filmů krystalů na krystalových substrátech. V ultra vysokých podmínkách vakua je vytápěcí kamna vybavena všemi druhy požadovaných komponent a generuje páru, skrz otvory vytvořené po kolimovém atomovém nebo molekulárním paprsku, přímou injekcí k příslušné teplotě příslušné teploty jediného krystalického substrátu, který je ovládán molekulárním paprskem na stejný čas, může vytvořit molekul nebo atomy ve formě thry na tréninkovém skenování a formování na thružnou fólii na throužku na tréninkovém pódiu na thružnou plíži "Růst".

Pro normální provoz zařízení MBE je třeba nepřetržitě a stabilně transportovat do chladicí komory zařízení s vysokou čistotou, nízkým tlakem a ultra čistém kapalným dusíkem. Obecně se nádrž, která poskytuje kapalný dusík, má výstupní tlak mezi 0,3MPa a 0,8 MPA.liquid dusík při -196 ℃ se snadno odpařuje do dusíku během transportu potrubí. Jakmile se kapalný dusík s poměrem kapaliny plynné asi 1: 700 zapíná v potrubí, zabírá velké množství prostoru průtoku dusíku kapalného dusíku a na konci kapalného dusíkového potrubí sníží normální průtok. Kromě toho v zásobní nádrži na kapalinu dusík bude pravděpodobně existovat zbytky, které nebyly vyčištěny. V kapalném potrubí dusíku bude existence mokrého vzduchu také vést k tvorbě ledové strusky. Pokud jsou tyto nečistoty vypouštěny do zařízení, způsobí to nepředvídatelné poškození zařízení.

Kapalný dusík ve venkovní skladovací nádrži je proto transportován do zařízení MBE v semináři bez prachu s vysokou účinností, stabilitou a čistým a nízkým tlakem, žádný dusík, bez nečistot, 24 hodin nepřetržitého, takový systém kontroly přepravy je kvalifikovaným produktem.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Odpovídající zařízení MBE

Od roku 2005 optimalizuje a zlepšuje tento systém a zlepšuje HL kryogenní zařízení (HL Cryo) a spolupracuje s mezinárodními výrobci zařízení MBE. Výrobci zařízení MBE, včetně DCA, Reber, mají s naší společností spolupráce. Výrobci zařízení MBE, včetně DCA a Reber, spolupracovali ve velkém počtu projektů.

Riber SA je předním globálním poskytovatelem produktů molekulárních paprsků (MBE) a souvisejících služeb pro výzkum složitých polovodičů a průmyslových aplikací. Zařízení MBE Riber může na substrát ukládat velmi tenké vrstvy materiálu s velmi vysokými ovládacími prvky. Vakuové vybavení HL kryogenního zařízení (HL Cryo) je vybaveno Riber SA. Největším vybavením je Riber 6000 a nejmenší je kompaktní 21. Je v dobrém stavu a ji zákazníci rozpoznali.

DCA je přední světový oxid MBE. Od roku 1993 byl proveden systematický vývoj oxidačních technik, antioxidačního substrátového vytápění a antioxidační zdroje. Z tohoto důvodu si mnoho předních laboratoří vybralo technologii oxidu DCA. Po celém světě se používají kompozitní polovodičové systémy MBE. Systém cirkulace dusíku VJ kapaliny HL kryogenního zařízení (HL Cryo) a MBE vybavení více modelů DCA mají odpovídající zkušenosti v mnoha projektech, jako je model P600, R450, SGC800 atd.

TCM (2)

Tabulka výkonu

Šanghajský institut technické fyziky, Čínská akademie věd
Elektronická technologická společnost 11. Čína Corporation
Ústav polovodičů, Čínská akademie věd
Huawei
Akademie Alibaba Damo
PowerTech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Čas příspěvku: květen 26-2021

Nechte svou zprávu