Projekt Chip MBE dokončen v minulých letech

Technika

Molecular beam epitaxy, neboli MBE, je nová technika pro pěstování vysoce kvalitních tenkých filmů krystalů na krystalových substrátech.V podmínkách ultra vysokého vakua jsou topná kamna vybavena všemi druhy požadovaných komponent a generují páru, skrz otvory vytvořené po kolimaci atomového nebo molekulárního paprsku, přímé vstřikování na vhodnou teplotu monokrystalového substrátu, řízení molekulárního paprsku na při současném skenování substrátu může molekuly nebo atomy v krystalických zarovnávacích vrstvách vytvořit tenký film na "růstu" substrátu.

Pro normální provoz zařízení MBE je vyžadováno, aby byl vysoce čistý, nízkotlaký a ultračistý kapalný dusík nepřetržitě a stabilně dopravován do chladicí komory zařízení.Obecně platí, že nádrž, která poskytuje kapalný dusík, má výstupní tlak mezi 0,3 MPa a 0,8 MPa. Kapalný dusík při -196 °C se během přepravy potrubím snadno odpaří na dusík.Jakmile je kapalný dusík s poměrem plyn-kapalina asi 1:700 zplynován v potrubí, zabere velké množství prostoru pro tok kapalného dusíku a sníží normální tok na konci potrubí pro kapalný dusík.Kromě toho se v nádrži na kapalný dusík pravděpodobně nacházejí nečistoty, které nebyly vyčištěny.V potrubí kapalného dusíku povede existence vlhkého vzduchu také k tvorbě ledové strusky.Pokud se tyto nečistoty vypustí do zařízení, způsobí to nepředvídatelné poškození zařízení.

Proto je kapalný dusík ve venkovní skladovací nádrži přepravován do zařízení MBE v bezprašné dílně s vysokou účinností, stabilitou a čistotou a nízký tlak, žádný dusík, žádné nečistoty, 24 hodin bez přerušení, takový systém řízení přepravy je kvalifikovaný produkt.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Odpovídající vybavení MBE

Od roku 2005 společnost HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) tento systém optimalizuje a zdokonaluje a spolupracuje s mezinárodními výrobci zařízení MBE.Výrobci zařízení MBE, včetně DCA, REBER, mají s naší společností kooperativní vztahy.Výrobci zařízení MBE, včetně DCA a REBER, spolupracovali na velkém počtu projektů.

Riber SA je předním světovým poskytovatelem produktů molekulární epitaxe (MBE) a souvisejících služeb pro výzkum sloučenin polovodičů a průmyslové aplikace.Zařízení Riber MBE dokáže na substrát nanášet velmi tenké vrstvy materiálu s velmi vysokou kontrolou.Vakuové zařízení HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) je vybaveno Riber SA Největším zařízením je Riber 6000 a nejmenším Compact 21. Je v dobrém stavu a bylo uznáno zákazníky.

DCA je přední světový oxid MBE.Od roku 1993 probíhá systematický vývoj oxidačních technik, ohřevu antioxidačních substrátů a zdrojů antioxidantů.Z tohoto důvodu si mnoho předních laboratoří zvolilo technologii oxidu DCA.Kompozitní polovodičové systémy MBE se používají po celém světě.Systém cirkulace kapalného dusíku VJ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) a zařízení MBE několika modelů DCA mají odpovídající zkušenosti v mnoha projektech, jako je model P600, R450, SGC800 atd.

tcm (2)

Tabulka výkonu

Šanghajský institut technické fyziky, Čínská akademie věd
11th Institute of China Electronics Technology Corporation
Institut polovodičů, Čínská akademie věd
Huawei
Akademie Alibaba DAMO
Společnost Powertech Technology Inc.
Společnost Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Čas odeslání: 26. května 2021