Technologie
Molekulární paprsková epitaxe neboli MBE je nová technika pro pěstování vysoce kvalitních tenkých vrstev krystalů na krystalových substrátech. V podmínkách ultravysokého vakua je ohřívací kamna vybavena všemi druhy požadovaných komponentů a generuje páru skrz otvory vytvořené po kolimaci paprsků atomového nebo molekulárního paprsku, přímé vstřikování na příslušnou teplotu monokrystalického substrátu, řízení při současném skenování substrátu může vytvořit molekuly nebo atomy ve vrstvách krystalu, aby vytvořily tenký film na substrátu „růst“.
Pro normální provoz zařízení MBE je nutné nepřetržitě a stabilně přepravovat vysokou čistotu, nízký tlak a ultračistý kapalný dusík do chladicí komory zařízení. Obecně platí, že nádrž, která poskytuje kapalný dusík, má výstupní tlak mezi 0,3 MPa a 0,8 MPa. Kapalný dusík při -196 ° C se během přepravy potrubím snadno odpaří na dusík. Jakmile se v potrubí zplyní kapalný dusík s poměrem plyn-kapalina přibližně 1: 700, obsadí velké množství prostoru pro průtok kapalného dusíku a sníží normální průtok na konci potrubí s kapalným dusíkem. Kromě toho ve skladovací nádrži na kapalný dusík pravděpodobně budou nečistoty, které nebyly vyčištěny. V potrubí kapalného dusíku bude existence mokrého vzduchu také vést ke tvorbě ledové strusky. Pokud se tyto nečistoty vypustí do zařízení, způsobí to nepředvídatelné poškození zařízení.
Proto je kapalný dusík ve venkovní skladovací nádrži přepravován do zařízení MBE v bezprašné dílně s vysokou účinností, stabilitou a čistotou a nízký tlak, žádný dusík, žádné nečistoty, nepřetržitý 24 hodin, takový systém řízení dopravy je kvalifikovaný produkt.
Odpovídající vybavení MBE
Od roku 2005 společnost HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimalizuje a vylepšuje tento systém a spolupracuje s mezinárodními výrobci zařízení MBE. Výrobci zařízení MBE, včetně DCA, REBER, spolupracují s naší společností. Výrobci zařízení MBE, včetně DCA a REBER, spolupracovali na velkém počtu projektů.
Riber SA je přední světový poskytovatel produktů epitaxe molekulárního paprsku (MBE) a souvisejících služeb pro výzkum sloučenin polovodičů a průmyslové aplikace. Zařízení Riber MBE může na substrát ukládat velmi tenké vrstvy materiálu s velmi vysokou kontrolou. Vakuové zařízení společnosti HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) je vybaveno Riber SA. Největší zařízení je Riber 6000 a nejmenší je Compact 21. Je v dobrém stavu a bylo uznáno zákazníky.
DCA je přední světový oxid MBE. Od roku 1993 probíhá systematický vývoj oxidačních technik, antioxidačního zahřívání substrátu a antioxidačních zdrojů. Z tohoto důvodu si mnoho předních laboratoří vybralo technologii oxidu DCA. Kompozitní polovodičové systémy MBE se používají po celém světě. Systém cirkulace kapalného dusíku VJ společnosti HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) a zařízení MBE několika modelů DCA mají shodné zkušenosti v mnoha projektech, jako jsou modely P600, R450, SGC800 atd.
Tabulka výkonu
Šanghajský institut technické fyziky, Čínská akademie věd |
11. Institute of China Electronics Technology Corporation |
Institut polovodičů, Čínská akademie věd |
Huawei |
Akademie Alibaba DAMO |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Čas zveřejnění: 26. května 2021